部件名称

内容

部件名称

内容

X方向移动
导轨类型 
移动长度 
直线精度 
测量方式

滑动导轨 
200mm 
0.5 μ m/100mm 
光栅计数

Z方向移动（立拄） 
导轨类型 
移动长度 
驱动方式 
测量方式

滑动导轨 
400mm 
滚珠丝杠 
编码器

轮廓形状测量
传感器类别 
测量范围 
显示分辨率 
相对误差
半径测量误差 

差动电感式 
± 0.03mm，±0.5mm，±4mm 
0.001μm,0.017μm,0.13μm 0.005FS 
0.02-0.1 %

附 件
三维调整工作台 
旋转工作台

水平、倾角、摆角调整 
安装轴承

粗糙度测量
测量参数
测量范围 
显示分辨率 
粗糙度测量误差

GB3505规定所有参数 
R a 0.01～10μm 
65536:1 
2%+4nm 

Y 向移动台（选购） 导轨类型 
移动长度 
直线精度 
测量方式

三维形貌测量用
滚动导轨 
100mm 
2 μ m/100mm 
编码器

GB3505规定所有轮廓、波纹度和粗糙度参数，曲率半径、沟中心距、锁口、凸度、
对数曲线、球基面、沟位置等轴承用参数。

测量软件 
软件平台 
功能

windowsXP
根据被测工件情况自动选取、自动校正、自动分析，可手动或自动循环测量、自动消除安装误差、手动或自动行量程转换、直接显示所得形状及各种参数，并可打印输出。可以根据用户要求增减分析处理软件。