是根据光学自准直原理设计的，它可以测量机床或仪器导轨的直线度误差，也可以测量平板等的平面度误差，利用光学直角器和带磁性座的反射镜等附件，还可以测量垂直导轨的直线度误差，以及垂直导轨和水平导轨之间的垂直度误差，与多面体联用可以测量圆分度误差。

平面度检查仪 点:
1. 分度值为格值，计算直线度和平面度。
2.光学直角器采用五角棱镜，与带磁性座的反射镜联用，可以测量相互垂直的导轨的直线度和垂直度。
3. 取景器和水平调整板配合使用可以方便地找到远距离的反射像。
4. 目镜头可回转 90°，能分别测量水平和垂直两个方向的直线度误差。

平面度检查仪 参数

C. 技术规格:

工作距离......................................0~6m
测微鼓轮格值.....................1μm/200mm≈1.03"
目镜放大倍数................................17.5x
物像焦距....................................400mm
测量范围....................................1600格
示值精度：当测微鼓轮不超过一周时...±(0.5+0.01n)格
     当测微鼓轮超过一周时...±(1.5+0.0015n)格 
               n-测微鼓轮的测量格数
光学直角器的精度......................．........2"
外形尺寸(长×宽×高)..........254mm x 57mm x 185mm
包装箱外形尺寸(长×宽×高)...505mm x 345mm x 335mm
仪器净重......................................10kg
仪器毛重......................................20kg

D. 基本组件:

主机....................................1台
反射镜..................................1件
水平调整板..............................1件
变压器..................................1件

E. 特殊附件:

带磁性座的反射镜........................1件
光学取景器..............................1件
光学直角器..............................1件